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      干式螺桿泵ESDP

      發布時間:2017-9-28 丨 閱讀次數:3804 丨 文章來源:admin
      干式螺桿泵ESDP
      詳細介紹
      性能參數
      最佳的極限壓力完全無油無水
               沃爾姆ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線,動力節省30%,排氣溫度低,工藝穩定,此產品適用于各種領域的真空工藝,也維持了最佳的真空效率和耐用性。
               ESDP系列不使用油和水,用可變壓縮方式操作,水蒸氣和液態混合工藝,非常適合干燥,溶劑回收,化工,制藥,塑料等各種真空工藝。       
      優點及特征:
               吸入效率(提升15%)。
               排氣效率改善(2級可變,連續可變頻率)。
               極限壓力:1*10-2Torr(托)。
               排氣溫度降低50%。
               電力消耗減少30%。
               不使用油和水,不會造成油和水的污染。
               低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運行。
               設計結構簡單,易保養,維修費用低,沒有易損件,壽命長。
               適用范圍廣,具有高真空性能。
               使用壽命長,氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
               不采用機械密封,密封部件無污染,不會因污染而頻繁發生故障。
               前后采用稀有潤滑方式,提高軸承耐用性。
      標準配件:
               基座和防護罩
               排氣消聲器及進氣分離器
               吸氣口
               止回閥
               真空計
      可選配件:
               吸濾器
               排氣冷凝器
               吸入式氣液分離器
               流量開關及溫度開關
      ESDP干式螺桿泵的應用范圍:
               ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
               在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
               制藥行業,用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。
               化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
               工業排氣;集中式真空處理系統
               擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
               混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
               涉及無憂污水真空處理的所有應用
               食品行業用于香料,香精濃度,食品包裝等。
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